濾能AMC方案超前部署 搭綠色製程潮

半導體綠色製程方案廠濾能專注於微污染防治等綠色製程市場，將 於6月下旬掛牌上櫃，董事長黃銘文表示，濾能成立之初就鎖定綠色 製程應用領域，為半導體產業客戶提供無塵室懸浮氣態污染物（AMC ）解決方案，濾能在模組化學濾網應用領域有多項產品專利，在國內 10奈米以下先進製程市場占有率已近五成。　　濾能去年合併營收8.29億元，毛利率28.7％，稅後淨利0.97億元， 每股淨利5.46元。今年第一季合併營收年增61.7％達2.48億元，稅後 淨利年增91.6％達0.14億元，每股淨利0.78元。法人預期濾能今年營 收將突破10億元大關，年度獲利將續創新高。　　晶圓代工龍頭台積電近年來積極轉換採用綠色製程，並在去年向供 應商提出將會把供應鏈碳足跡與減碳績效納入其重要採購指標，要求 其供應商在2030年前必須節能20％，若無法達成要求恐將失去訂單。 至於旺宏、美光、南亞科等記憶體廠，新建生產線亦優先採用綠色製 程，濾能因此直接受惠。　　濾能總經理黃氣寶表示，AMC防治是半導體先進製程不可忽視的議 題，尤其是製程微縮至5奈米以下，大約只要5～17個污染氣體分子沉 積就可占滿5奈米線寬並造成良率降低，而且隨著半導體電晶體結構 在3奈米或2奈米轉換至環繞閘極（GAA），微污染對良率影響更加敏 感，所以AMC防治已是維持先進製造環境潔淨度不可或缺的重要綠色 製程方案。　　黃氣寶表示，濾能環保組合式濾網AMC方案能大幅度降低客戶濾網 耗材成本，減少大量碳足跡對環境的衝擊，並提出次世代產品可回收 的循環經濟，除了框體／濾材重複使用可減少60％以上廢棄物外，不 可再次使用的濾材也可以再製成RDF燃料棒用於生質能發電，燃燒後 的底渣也可以製成環保高壓磚或是水泥添加物，達到100％回收、零 廢棄物的循環經濟。