台積電股東會傳出有意採購天然氣發電機組做為備用電源。對此，經濟部及台電均表示，採用燃氣機組有助於達到減碳目標，但仍須克服天然氣總量不足及輸送等技術問題。台積電各廠發電機備援能力均大於15%，面對限電時的抗壓性較一般科技廠更高。然而台積電8日召開股東會，仍有股東擔憂台灣跳電將影響晶片產能；台積電董事長劉德音回應，未來會增加更多備用機組，甚至新廠將採購天然氣發電機組。對此，經濟部官員表示曾與台積電來初步交換意見，台積電認為，公司對極力爭取RE100及ESG的台積電已是基本期待，考量到因燃氣機組排碳量也比較低，目前考慮新廠使用燃氣機組，舊廠則要看有無共用管線空間。台電表示，台積電更換燃氣機組優點包括避免柴油發電機會運轉廢氣汙染生產線、天然氣地下管線比柴油發電機儲油槽安全性高；目前國內像是大園汽電就有安裝燃氣機組，國際上也已有發電量高達30MW（百萬瓦）的引擎式燃氣備用機組。然而，設置天然氣發電機組條件相當複雜。首先，使用天然氣必須要有天然氣管線，目前絕大部分的科學園區都沒有特別拉出輸氣管，若只為了台積電天然氣發電就拉管線，那建置成本相當高。此外，就算要鋪設管線，也涉及到空間、既有管線容量等限制。第二，即使可以克服輸氣障礙，台灣的天然氣總量仍受到限制。目前台灣天然氣唯一進口天然氣供應商為中油公司，其進口量目前也只能仰賴高雄永安、台中港兩座天然氣接收站，桃園觀塘天然氣接收站則還要等到2025年才能供氣，基隆協和則還在環評階段，總量擴張仍需要時間。